盡量避免頻繁啟停

 

分子泵在勻速工作時，轉(zhuǎn)子葉片僅受到離心力的作用（真空下阻力很小可以忽略不計），即遠離軸心的方向的拉力；而在加速和減速的時候，葉片還受到轉(zhuǎn)動切線方向的力，相當于對葉片進行彎折的力。顯而易見，對葉片進行彎折對其疲勞壽命的貢獻更大。

 

另外，分子泵在加速時功率較大，內(nèi)部發(fā)熱比較嚴重，頻繁的啟停（兩次啟動間隔<30 分鐘）會造成熱量累積，使分子泵內(nèi)部的溫度過高，加劇軸承磨損。

 

根據(jù)工藝條件選擇適當?shù)睦鋮s

 

分子泵的冷卻方式有三種：自然冷卻、強制風(fēng)冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵，在沒有氣體負載的情況下，可以采用自然冷卻；較大的分子泵或者有一定的氣體負載時，需要選擇強制風(fēng)冷（風(fēng)扇冷卻）；對于有些負載很大的應(yīng)用（比如CVD），或者不方便使用風(fēng)扇的環(huán)境（如輻射環(huán)境），需要采取水冷。

 

無論采取哪種冷卻方式，分子泵工作的環(huán)境溫度都要保持在 5-35 攝氏度之間，采取水冷時，要采用經(jīng)過處理的軟水，冷卻水的溫度和流量也要滿足說明書的要求。

 

空擋滑行不可取

 

分子泵工作時轉(zhuǎn)速很高（數(shù)萬轉(zhuǎn)/分鐘），加減速過程中，不可避免的要經(jīng)過某些危險的共振頻率，長時間在這些共振頻率運轉(zhuǎn)，會增加軸承負荷、進而增加分子泵故障的風(fēng)險。在真空下自然停泵（空擋滑行）時，由于真空下空氣阻力很小，分子泵轉(zhuǎn)子要經(jīng)過幾十分鐘甚至數(shù)小時的時間才能完全停止，其中在共振頻率運轉(zhuǎn)的時間也會比較長。

 

一般建議分子泵停機時，手動或者通過專用充氣閥（Vent Valve），通過充氣口充入空氣/氮氣，增加轉(zhuǎn)子阻力使其快速停機；手動充氣時，要注意控制充氣速度，使停機時間和分子泵啟動時間相當（根據(jù)泵的大小不同而不同，一般為 3-10 分鐘）。

 

大多數(shù)型號的安捷倫分子泵還帶有電磁剎車功能（Active Stop），可以在不破空的情況下快速停機。

注意監(jiān)測前級真空

 

分子泵是一種高真空泵，它必須配合合適的并且性能良好的前級泵才可以正常工作；除了在選型時盡量選擇推薦的前級泵之外，分子泵使用時也要注意監(jiān)測其排氣口的壓力，避免因前級泵性能下降而使分子泵排氣壓力過高，造成負荷過大，泵溫過高等。

 

這些情況一定要加軸承吹掃

 

分子泵所抽的氣體如果含有較多的可凝性氣體（如水汽，有機溶劑等），高濃度的氧氣、腐蝕性氣體，或者粉塵等，需要增配吹掃閥（Purge Valve），工作過程中利用吹掃氣（一般為干燥氮氣）持續(xù)對軸承進行吹掃，以達到隔離污染物，保護軸承的目的。

 

長期存放不用不是延年益壽的秘訣

 

有客戶會認為，長時間停泵不用對分子泵的損耗會比較小。但是，分子泵長時間停泵后，在表面張力和重力的作用下，軸承內(nèi)部的潤滑脂可能會出現(xiàn)收縮成團、分布不均勻等現(xiàn)象，反而會影響分子泵的壽命。

 

為了減少軸承因長期存放而造成的分布不均勻，安捷倫的分子泵控制器內(nèi)置了“軟啟動”功能。如經(jīng)過運輸或者停泵的時間超過 2 個月，可以使用軟啟動功能啟動分子泵，轉(zhuǎn)速以階梯方式緩慢加速，使得軸承潤滑脂在低速階段有充分時間重新均勻分布。如果存放時間超過 10 個月，建議送回維修中心讓分子泵在專用的檢測平臺上按照既定程序加速（Re-channeling），磨合軸承。

 

有下面這些異常一定要盡早檢修

 

分子泵是高速旋轉(zhuǎn)的機械，軸承故障可能會造成泵葉片打碎直接報廢；而當軸承工作狀態(tài)不良時，會有一系列的現(xiàn)象，如分子泵無法啟動，運行噪音增大，溫度或功率異常增加等，在排除外界環(huán)境和進排氣壓力過高等外界因素后，應(yīng)盡快停泵，送到維修中心進行檢修。

 

安捷倫分子泵標準保養(yǎng)服務(wù)

 

安捷倫維修中心提供各型號安捷倫分子泵的標準保養(yǎng)服務(wù)，主要項目包括：對整泵進行拆解和清洗、更換密封和軸承套件、動平衡調(diào)試和泄漏檢測等。

 

安捷倫的分子泵設(shè)計是免日常維護的。由于工藝環(huán)境差異，分子泵的工作壽命差別很大，但是如果分子泵已經(jīng)工作了很長時間（5年以上），或者出現(xiàn)了噪音、溫度、功率異常，及時的對其進行維護保養(yǎng)可以大大延長其使用壽命。